江西佰地信环境工程有限公司 光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。 光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如**大型积体电路之研究制造,已成为**在科技发展上较为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于良好地位。 江西佰地信环境工程有限公司 电子无尘车间设计规范依据: 1、国际标准《ISO/DIS 14644》 2、洁净厂房设计规范《GB50073-2001》 3、工业洁净厂房设计规范《GMP-97》 4、生产质量管理规范《GMP-98》 5、洁净室施工及验收规范《JGJ 71-90》 6、通风与空调工程施工及验收规范《GB 50243-2002》 7、美国联邦标准《FS209E-92》 电子无尘车间净化参数: 换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次; 压差:主车间对相邻房间≥5Pa; 平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s; 温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃; 湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电; 噪声≤65dB(A); 新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。 电子无尘车间结构材料: 1、净化厂房墙、**板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强;圆弧墙、角、门、窗框等一般采用**氧化铝型材制造。 2、地面采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。 3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。 4、高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。 电子洁净车间改造工程 建筑基础设施 生产工艺的更新升级,部分车间将由此次改造建设成洁净车间..此部分虽然位于单层厂房处,但其上部约有4.5米的空间可用作管道层,下部也可改造成有1.5米深的回风层.洁净室布置厂房中心部,四周无外墙.结合工艺和改造工程的需要,周围布置了产品仓库,走道,机房等.这样的建筑平面设计较大程度也满足了洁净室的要求.洁净厂房内部的装饰材料分别是:吊顶为金属板,墙面为洁净室**墙板,地面为洁净室**回风地板.照明等内部设施充分考虑了洁净车间的特殊需要,均为不易起尘材料.人员进口处设风淋室,物料传输设传递窗. 洁净室室内设计参数 洁净室洁净度:100级 洁净室温度:25℃;湿度50% 气流组织:上送下回 换气次数:50次/h 室内正压值:5mmH2O 空调负荷计算:经计算洁净车间的空调负荷如设计稿所示 净化系统概述 风系统:新风经洗净,初过滤,中过滤与回风混合后进人空凋器,空凋器按洁净车间的热、湿负荷需求处理约20%的循环风量,空调器出风与经循环风机箱的回风再次混合至出风温度,回风经洁净室**回风地板,通过1.5米深的回风层,回至空调器/循环风机箱. 水系统:由新设的二次泵将二次冷水在空调器、冷水槽之间循环. 加湿系统:采用蒸汽作为加湿源. 洁净系统自动控制 冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化,为系统提供适合的冷热量 过滤系统(包括高效、中效、初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置 蒸汽加湿器设置控制系统,根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量 系统连锁控制:基本控制是当风机停止时,所有的水阀、风阀随即关闭 调试及试运行检测 洁净厂房安装工程完成后进行了认真的清扫,经过二天的试运行,开始了洁净度测试,将洁净车间均匀布置了20余个测试点,测试结果证实符合设计要求.